项目背景

  磁控溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;亦可应用于玻璃镀膜领域;还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。透磁率可以作为评估磁性靶材透磁性能的有效指标，其测试方法还没有相应的行业标准，很大程度上制约了国内磁性溅射靶材的研发、制作及工业化生产。

解决方案

1、测试设备：CIM-3140RMT透磁率测量装置 CIM-3140RMT透磁率测量装置是一款样品透磁测量设备，主要用于磁性溅射靶材包括PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp、 %PTFstdev等参数测量，并对测试结果进行统计分析，可绘制PTF曲线图、%PTF曲线图。 具有文件管理、测试和数据（图形）输出等功能， 可满足用户对磁性溅射靶材的测试、数据（报告）输出及数据管理等需求。

2、设备特点

• ⑴、RMTest透磁测量系统为绿色软件，无需繁琐的安装过程。
• ⑵、测量软件运行于Windows XP或 Win 7 操作系统下，符合Windows软件规范，操作直观简捷。
• ⑶、采用横向探头测量样品表面的透磁。
• ⑷、磁强计具备自动清零功能，能一键对表头零点进行清零。
• ⑸、可在软件界面选择磁场测试量程，无需通过手动按键切换量程档位。
• ⑹、测试结果包含PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp等。
• ⑺、可导入多组数据进行多个半径曲线对比。
• ⑻、测试结果在PTF或%PTF坐标上可以通过双击波形调出单点捕捉功能，可以在软件界面最下方显示鼠标 当前选中位置点的相对角度和磁场强度值。
• ⑼、仪器自带水平仪。
• ⑽、支持各种型号的喷墨或激光打印机，可直接打印测试报告。
• ⑾、可直接通过E-mail发送彩色的测试报告。
• ⑿、有数据库功能,可将测试数据输出到EXCEL中，便于对测试结果进行分析。
• ⒀、可将测试报告转换（保存）为图片文件，以方便在论文中插图。